博涛智能申请PECVD设备相关专利，PECVD设备掩膜板助成型封装区，提效增良率

　　2月1日消息，国家知识产权局信息显示，江苏博涛智能热工股份有限公司申请一项名为“PECVD设备”的专利。申请公布号为CN121428510A，申请号为CN202512003105.3，申请公布日期为2026年1月30日，申请日期为2025年12月29日，发明人归玉龙、霍李均、崔恒飞，专利代理机构苏州三英知识产权代理有限公司，专利代理师仲崇明，分类号C23C16/04、C23C16/509。

　　专利摘要显示，本发明公开了一种PECVD设备，包括壳体、气源、上极板、下极板和掩膜板，所述壳体内部形成有反应腔，所述气源连接至壳体并向所述反应腔输送工艺气体，所述上极板设置于所述反应腔内，用于连接射频源，所述下极板设置于所述反应腔内，用于接地并支撑待反应的基板，所述掩膜板用于放置于基板的表面，所述掩膜板设置有用于在基板表面形成特定封装形状的挖孔。本发明的掩膜板能够在非反应区域制造物理屏蔽，使工艺气体仅在挖孔区域内进行反应沉积，在其他区域则不会发生反应。因此，在基板表面能够形成特定形状的封装区域，而无需再经历涂光刻胶‑光刻这一工序，通过减少操作工序减少了工艺时间，提高了良率和生产效率。

　　天眼查数据显示，江苏博涛智能热工股份有限公司成立日期2010年5月21日，法定代表人霍李均，所属行业为其他制造业，企业规模为中型，注册资本10613.7931万人民币，实缴资本10613.7931万人民币，注册地址为江苏省苏州市常熟市辛庄镇富丽路18号。江苏博涛智能热工股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目157次，财产线索方面有商标信息23条，专利信息273条，拥有行政许可29个。

　　江苏博涛智能热工股份有限公司近期专利情况如下：

• 序号
• 专利名称
• 专利类型
• 法律状态
• 申请号
• 申请日期
• 公开(公告)号
• 公开(公告)日期
• 发明人
• 1PECVD设备发明专利公布CN202512003105.32025-12-29CN121428510A2026-01-30归玉龙、霍李均、崔恒飞
• 2多片式薄膜沉积腔体自适应密封传输结构及装置发明专利公布CN202511978650.82025-12-25CN121380927A2026-01-23张小强、霍李均、崔恒飞
• 3多片式镀膜装置和镀膜设备发明专利公布CN202511584358.82025-10-31CN121407058A2026-01-27张小强、霍李均、崔恒飞
• 4PECVD用的面板定位机构发明专利公布CN202511519750.42025-10-23CN120989589A2025-11-21钱超、霍李均、崔恒飞
• 5MFC标定回路及使用方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511493342.62025-10-20CN121325820A2026-01-13霍李均、乔佳晓、陶志波、崔恒飞
• 6柔性显示面板、显示装置及制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511499331.92025-10-20CN121335388A2026-01-13霍李均、张敏、陶志波、崔恒飞
• 7APCVD中的喷头发明专利实质审查的生效、公布CN202511425638.42025-09-30CN121272380A2026-01-06霍李均、沈亚南、陶志波、崔恒飞
• 8双层置换室发明专利实质审查的生效、公布CN202511411889.72025-09-29CN121230458A2025-12-30钱钧达、张志敏、周芳
• 9PECVD抑制等离子体鞘层的传输结构发明专利实质审查的生效、公布CN202511411895.22025-09-29CN121260719A2026-01-02钱超、霍李均、崔恒飞
• 10一种OLED上PECVD使用的气体均匀扩散装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511401963.72025-09-28CN121204637A2025-12-26归玉龙、霍李均、崔恒飞
• 11一种开盖防呆机构发明专利实质审查的生效、公布CN202511391124.12025-09-26CN121084767A2025-12-09张小强、霍李均、崔恒飞
• 12定位校准装置发明专利公布CN202511363827.32025-09-23CN121020166A2025-11-28孙磊、霍李均、崔恒飞
• 13管道内壁清洁装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511208651.42025-08-27CN121131359A2025-12-16金磊、王海阳
• 14一种PECVD使用的视觉镜头调节机构发明专利公布CN202511102751.92025-08-07CN120666316A2025-09-19钱超、霍李均、崔恒飞
• 15辊道炉发明专利实质审查的生效、公布CN202510853254.62025-06-24CN120403245A2025-08-01高远、姜春鹏
• 16工业冷却炉发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510750857.32025-06-06CN120252361B2025-08-05高远
• 17工业窑炉和工业窑炉的气体远程控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510721966.22025-05-30CN120444901A2025-08-08高远
• 18正极材料的二次烧结制备方法、材料、电极及电池发明专利公布CN202510516836.52025-04-23CN120364668A2025-07-25霍李均、吕张忠、姚文明
• 19箱式炉外观专利授权CN202530166450.72025-03-31CN309589572S2025-11-07高远
• 20一种使用高压蒸汽回路加热的回转炉发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510172600.42025-02-17CN119755964A2025-04-04金磊、成翀帆、高远、周芳
• 21一种均匀输送的锰酸锂材料送料装置实用新型授权CN202520085278.72025-01-15CN223774960U2026-01-09高远、王英英、张兵、毛羲佳、唐杰
• 22石墨烯固态润滑轴承的加工方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411593002.62024-11-08CN119353321A2025-01-24霍李均、朱威、吕张忠、姚文明
• 23辊道炉发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411495188.12024-10-24CN119164203A2024-12-20高远、姜春鹏、汤志豪
• 24辊道炉实用新型授权CN202422579652.72024-10-24CN223307279U2025-09-05高远、姜春鹏、汤志豪
• 25半导体沉积设备实用新型授权CN202422566292.72024-10-23CN223226169U2025-08-15归玉龙
• 26气体扩散板、组合体及装置发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411435556.32024-10-15CN118932316B2025-01-07霍李均、崔恒飞、翟国平、杨玉峰
• 27液相法碳化硅单晶炉实用新型授权CN202422446048.72024-10-10CN223189282U2025-08-05钱超
• 28柔性载台及承载装置实用新型授权CN202422433799.52024-10-09CN223230335U2025-08-15杨玉峰
• 29一种置换室整体移动结构发明专利实质审查的生效、公布CN202411079313.02024-08-07CN118776307A2024-10-15张欣欣、钱钧达、周芳
• 30一种辊道窑炉冷却结构实用新型授权CN202421850826.22024-08-01CN222887503U2025-05-20李潇雨、吴苏
• 31喂料装置实用新型授权CN202421763570.12024-07-24CN223188247U2025-08-05施卫、朱丽叶
• 32垂直喂料装置实用新型授权CN202421763571.62024-07-24CN223188328U2025-08-05施卫、朱丽叶
• 33匣钵振动除磁装置实用新型授权CN202421652837.X2024-07-12CN223065944U2025-07-04葛程昊、徐桃
• 34转台实用新型授权CN202421514236.22024-06-28CN222743370U2025-04-11付友、唐杰、周芳、王英英
• 35一种烟囱自动清灰装置实用新型授权CN202421514224.X2024-06-28CN222747293U2025-04-11吴苏、李潇雨
• 36置换室实用新型授权CN202421500130.72024-06-27CN222718678U2025-04-04钱钧达、吴苏
• 37匣钵清洁装置实用新型授权CN202421231105.32024-05-31CN222535788U2025-02-28徐桃
• 38炉管及加热回转炉实用新型授权CN202421217940.12024-05-30CN222438468U2025-02-07成翀帆、高远、金磊
• 39喂料机实用新型授权CN202421087984.72024-05-17CN222410222U2025-01-28冯晓文
• 40非接触式断棒检测结构实用新型授权CN202421060969.32024-05-15CN222211777U2024-12-20张志敏、张欣欣、周芳
• 41机械式检测机构及匣钵检测装置实用新型授权CN202421058537.92024-05-15CN222420572U2025-01-28张欣欣、李潇雨
• 42一种刮平机构实用新型授权CN202421031379.82024-05-13CN222211265U2024-12-20霍李均、徐桃、毛羲佳、施卫、金磊、周锦东
• 43辊道炉传动系统发明专利实质审查的生效、公布CN202410562797.82024-05-08CN118347286A2024-07-16高远、姜春鹏、周芳
• 44高温辊道炉中的辊棒支撑机构发明专利实质审查的生效、公布CN202410449665.42024-04-15CN118089391A2024-05-28霍李均、张志敏、王英英、周芳
• 45用于旋转式管式炉的传动系统实用新型授权CN202420772811.22024-04-15CN222596681U2025-03-11高远、姜春鹏
• 46旋转式管式炉实用新型授权CN202420772812.72024-04-15CN222688769U2025-03-28徐桃、毛羲佳
• 47金属异物检测设备及锂电池生产线实用新型授权CN202420722046.32024-04-09CN222850754U2025-05-09金磊、高远
• 48装配式石墨匣钵实用新型授权CN202420672754.02024-04-03CN222598504U2025-03-11姜春鹏、高远
• 49化学气相沉积设备实用新型授权CN202420239431.22024-02-01CN222332049U2025-01-10翟国平、宋维鼎、归玉龙
• 50带横送功能的辊道窑炉置换室及辊道窑炉实用新型授权CN202420239449.22024-02-01CN222460208U2025-02-11吴苏、钱钧达、张欣欣

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